防微振气浮平台主要由台体、低频空气弹簧及控制系统三部分组成,其中台体可根据具体用途做相应设计,如设计成异形气浮隔振平台、气浮隔振检测塔等,广泛用于与光学元件的超精密加工及检测,光学系统装调及模拟空间环境检测,超精密装备制造、装配调试及计量检测等领域,特别适用于百吨级大型设备的防微振需求。
大型防微振气浮台体材料采用独创的高强度、高密度钢纤维混凝土整体浇筑成型,普遍设计为T型或双T型截面,特点为质量均匀、抗偏载能力强、整体刚度大且均匀分布、结构阻尼比大、振动一致性良好并且具备最佳质心位置及偏移量可控,显著优于其他材料。
防微振气浮台体根据用户需求,气浮台体选用光学平板、铸铁平板、济南青花岗岩、混凝土等材料。
控制系统可根据顾客需求合理选配,分为被动控制与主被动混合控制,其中主被动混合控制隔振性能更佳。控制系统中集成微振动实时监测模块,使用者可通过监测UI随时了解微振动环境的变化与评价。